Pyroelektrische Hochdetektivit?ts-Infrarotsensoren mit gleichm??iger spektraler Empfindlichkeit

Pyroelektrische Ein- und Mehrelementsensoren sowie lineare Arrays sind wichtiger Bestandteil von Infrarot-Messger?ten zur Gasanalyse und Spektroskopie sowie zur berührungslosen Temperaturmessung.
焦熱電單元、多元紅外探測器以及紅外陣列探測器是紅外氣體分析、光譜分析、非接觸式紅外測溫裝置的重要組成部分。
Um hohe Nachweisempfindlichkeiten dieser Ger?te zu erreichen, muss das Signal/Rausch-Verh?ltnis gro? sein. Es sind hohe Werte der spezifischen Detektivit?t D* bzw. kleine rausch?quivalente Strahlungsleistungen NEP erforderlich. 
為了確保這些探測器具有較高的靈敏度，其信噪比必須要比較大。這就要求提高比探測率D*、降低等效噪聲。
Langzeitstabil
多年的研發(fā)使用經(jīng)驗(yàn)
DIAS Infrared hat schon seit Jahren die bew?hrten PYROSENS-Sensoren und Arrays im Fertigungsprogramm. Basis ist das Pyroelektrikum Lithiumtantalat mit sehr guten sensorrelevanten Materialkenngr??en, einer geringen Temperaturabh?ngigkeit und einer ausgezeichneten Langzeitstabilit?t. Gro?e Signal/Rausch-Verh?ltnisse erfordern sehr dünne pyroelektrische Elemente. Bei DIAS Infrared werden Elementdicken bis zu etwa 5 μm durch den Einsatz von Ionenstrahl?tztechnologien erreicht.
德國DIAS紅外公司已經(jīng)有多年的研發(fā)和使用這種紅外探測器及陣列探測器的經(jīng)驗(yàn)，該探測器基片為鉭酸鋰熱電材料，具有很好的傳感器材料特性、低溫依賴性和良好的長期穩(wěn)定性。德國DIAS紅外公司利用非常薄的熱電元件以獲得較大的信噪比，采用離子蝕刻技術(shù)，使得探測器元素厚度可達(dá)到5微米。
Nanostrukturierte Absorberschichten
納米結(jié)構(gòu)吸收層
Für die oben genannten Anwendungsgebiete sind nicht nur hohe Signal/Rausch-Verh?ltnisse notwendig, sondern zus?tzlich wird eine hohe und spektral m?glichst gleichm??ige Absorption bzw. Empfindlichkeit gefordert. Dazu k?nnen bei DIAS Infrared die besonders dünnen ionenstrahlge?tzten pyroelektrischen Elemente jetzt auch mit einer zus?tzlichen Absorberschicht kombiniert werden. Verwendung finden nanostrukturierte Absorberschichten auf der Basis von NiCr. Die W?rmekapazit?t ist sehr gering.  Die W?rmekapazit?t ist sehr gering. Die Schichten lassen sich fotolithografisch strukturieren und erreichen im Wellenl?ngenbereich von 2 μm bis 14 μm eine gleichm??ige Absorption von etwa 0,9.
Besonders rauscharm
超低噪聲
Als erste neue Sensortypen kommen Ein- und 2-Kanalsensoren PYROSENS LTMI im Spannungs- und Strombetrieb, mit und ohne thermische Kompensation sowie Elementfl?chen 1 mm x 1 mm, Durchmesser 1 mm und 2 mm x 2 mm auf den Markt. Es werden Werte der spezifischen Detektivit?t von bis zu 109 cmHz1/2W-1 erreicht. Das sind die h?chsten kommerziell verfügbaren Werte für pyroelektrische Lithiumtantalat-Infrarotsensoren. Auch verfügbar sind pyroelektrische lineare Arrays mit 128 oder 256 Elementen (Elementmittenabstand/pitch 100 μm bzw. 50 μm), die ebenfalls ionenstrahlge?tzte dünne und zus?tzlich mit thermisch isolierenden Schlitzen versehene pyroelektrische Chips beinhalten. Zusammen mit den nanostrukturierten NiCr-Absorberschichten werden hier NEP-Werte um 0,1 nW erreicht. Diese jetzt verfügbaren sehr geringen Werte erm?glichen neue L?sungen für kompakte Spektroskopie-Baugruppen.